在半导体厂的安全管理体系里，ESD（静电放电）看似无形，却是极频繁、极容易被忽略、极高成本的隐患。更关键的是：绝大多数 ESD 失效，都与“防静电胶皮 / 防静电台垫”直接相关。是的，不是机器，不是人员，不是流程……而是你每天都在摸的那块台面材料。

图：焊锡台面无卤防静电胶皮

        一、ESD 异常为什么总从“台垫”开始？

        你可能见过这些场景：明明手环良好，仍出现静电报警；明明接地正常，测试仪却偶发击穿；明明人员规范操作，良率却下降；明明设备没动，静电传感器却飙红，很多安全员初始反应都是查设备、查接地线、查人员操作。但真正的根因往往是：防静电胶皮老化、参数漂移、表面污染、被化工品腐蚀导致电阻失控。因为在整个操作链路中，防静电台垫是接触频率极高的材料。

它承担着：

1．工装的放置

2．批次晶圆的临时摆放

3．防护产品的接触

4．测试设备底面的摩擦

5．静电泄放的触点

台垫一旦出问题，其他所有 ESD 控制手段都将失效。它就像一条地基裂开的高速公路，车再好也开不稳。

        二、为什么防静电胶皮容易“潜在失效”？

        “潜在失效”是半导体行业安全员最头疼的情况。防静电胶皮恰恰是最常出现潜在失效的材料之一，原因有三：

1.化工品侵蚀导致电阻骤变，半导体行业大量使用化工品：显影液、清洗剂、IPA、腐蚀液等。这些化工品落到防静电台垫表面后，会：

①　破坏台垫表面的 ESD 薄层

②　形成绝缘污染膜

③　加速材料老化裂解

结果就是：台垫看起来没问题，参数已经完全漂移。

2.表面清洁剂残留影响耗散性能

很多班组为了保持“视觉洁净”，滥用强脱脂剂或含硅清洁剂。这些残留会导致：

①　静电衰减时间延长

②　电荷堆积不均匀

③　导致“瞬间放电点”产生

这类失效非常隐蔽，却是极其容易击穿敏感器件的。

3.老化导致体积电阻从10⁸Ω飙到10¹²Ω

防静电胶皮是聚合材料，长时间暴露于：

①　温度变化

②　紫外线

③　摩擦

④　腐蚀

都会使电阻值上升。最典型的一句话是：“台垫看起来还可以用，但电阻已经远远不在国标范围内。”

        三、各类标准对防静电台垫到底要求什么？

        安全员最常接触的标注主要包括：《SJ/T 10694-2022电子产品制造与应用系统防静电测试方法》，《ANSI ESD S20.20-2021静电防护的ESD管控体系》，《IEC 51345-5-1-2024电子器件的静电防护-通用要求》等，另外我国还有不同的国家标准，行业标准，如中国军用标准，中国兵器工业部行业标准等，因保密需要，不做赘述了。汇总了不同标准要求，规定防静电台垫/胶皮材料必须测试：

①　点对点电阻

②　点对地电阻

这是判断台垫合格与否的基础。

另外静电释放衰减时间和摩擦起电压这两个参数也建议结合，因为这是计算静电放电能量的重要参数。

也明确规定：

①　防静电台垫电阻必须保持在1*10⁹ Ω 以内；

②　防止突然放电、火花放电

③　防止电荷积累

这些要求是为了避免“不受控放电”，这也是半导体厂最怕的风险。

虽然是讲台面逻辑，但同样适用于地面系统：材料本身必须与接地系统形成完整泄放回路。换句话说：台垫合格≠系统合格。台垫不合格＝系统必定不合格。

图：半导体车间防静电台垫

        四、真正的ESD事故，从不是突然发生的

        安全员最常说的一句话：“我们那次重大 ESD 失效追溯下来，问题竟然出在一块台垫上。”是的。ESD 事故没有“突然”，只有“不被重视的细小变化”。这些变化可能是：台垫角落的一块破皮，清洁剂残留的一层薄薄油膜，化工品滴落后的轻微硬化，老化引起的一点点变色，电阻测试时被忽略的一次异常，而这一点点偏差，对纳米级器件来说，就是致命风险。

        五、你的ESD稳定性，就藏在那块防静电台垫里

        在半导体工厂里，任何一个微小的静电失控，都可能导致：

1．批次报废

2．良率下滑

3．传感器误触发

4．化工品区域火花风险

很多时候，你不需要改工艺、不需要换设备、不需要追查人员。你只需要从最基础的一步重新检查：那块不起眼的防静电胶皮，还是不是合格的？